适用领域
光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。
产品特点：
l 机架式安装方式
l 采用全数字控制，具有便捷和丰富的操作菜单
l 进线具有APFC模块，提高输入侧功率因数，降低谐波
l 稳定可靠的功放和直流控制模块
l 驻波1.5时仍能输出额定功率
l 具有多种通讯接口可选，通过通讯接口，可完全对电源进行操作
l 高亮LCD显示，操作直观
l 具备CEX相位同步功能
l 3个可编程模拟量输出
l完善保护功能
在线留言
0838-2900585